TD5275 型動態氣體稀釋儀

產品概述

TD5275 型動態氣體稀釋儀搭載多路 MFC 質量流量控制器，可對高濃度標準氣體開展動態稀釋配比工作，制備多組分、不同濃度的校準混合氣體。設備采用 7 英寸高清觸控大屏，自帶手提便攜結構，具備溫度補償、遠程通訊控制功能，配氣精度高、重復性好，既可用于實驗室環境，也可在現場開展儀器標定、傳感器測試、配氣混氣等相關實驗。

儀器用途

采用多路 MFC 質量流量控制器，對高濃度標準氣體進行動態稀釋配比，制備多種組分、不同濃度的校準混合氣體；用于儀器標定、傳感器測試、實驗室配氣實驗。

適用范圍

氣相液相色譜儀標定、半導體工藝、環境監測設備校準、CVD 材料制備實驗、氣體發生器校驗、配氣混氣實驗，適用于科研實驗室、計量院所、環保第三方、儀表生產企業。

執行標準

GB/T 5275.7?2025《氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第 7 部分：熱式質量流量控制器》

主要功能

1. 高清觸摸大屏操作，無需外接設備；支持 RS?485 通訊，可與內部 MFC 通訊、上位機遠程控制。

2. 多路高精度 MFC 流量控制，多量程可選；實現高精度、高重復性氣體流量配比。

3. 內置 20 種基本氣體，支持 10 種自定義混合氣配置，氣體種類可定制。

4. 自帶溫度補償，降低環境溫度對配氣精度影響。

5. 最大稀釋比可達 1000:1。

6. 便攜一體式整機，自帶手提把手，實驗室與現場均可使用。

功能特點

1. 高清觸控操作：7 寸觸摸大屏，無需外接設備即可完成全部操作；配置 RS?485 MODBUS?RTU 通訊接口，支持上位機遠程控制設備，實現自動化配氣。

2. 高精度流量控制：搭載多路熱式 MFC 質量流量控制器，讀數精度 ±0.8% RDg，滿量程精度 ±0.2% FS，重復性≤±0.2% FS，配氣結果穩定、重復性好。

3. 寬稀釋配比能力：最高稀釋比例可達 1000:1，支持多量程 MFC 選配，適配不同濃度梯度的標氣稀釋需求。

4. 豐富氣體庫：內置 20 種基礎氣體庫，可設置 10 種自定義混合氣，氣體種類支持按需定制，滿足多組分混配實驗。

主要技術參數

稀釋比：最高 1000:1

各路 MFC 讀數精度：±0.8% RDg

各路 MFC 滿量程精度：±0.2% FS

各路 MFC 重復性：≤±0.2% FS

響應時間：＜100 毫秒

啟動預熱時間：＜1 分鐘

工作條件：20℃，101.325kPa

耐壓：1MPa

工作電源：AC220V±15%

通訊接口：RS?485 MODBUS?RTU

工作溫度：0?50℃

存儲溫度：?40~85℃

整機重量：6kg

適用介質：氣體

售后服務

設備出廠經過整機校準檢驗，配套全套操作說明書，提供遠程技術指導。